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万方发展(000638SZ):筑鼎工大没有超导材料方面的研发的简单介绍

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原子层沉积系统

原子层沉积(Atomic layer deposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。

原子层沉积是一种通过化学气相沉积技术将薄膜沉积在基板表面的方法。在原子层沉积过程中,每层薄膜的厚度仅有单个原子的厚度,在每一层沉积过程中需要几秒钟的时间。

原子层沉积(ALD)的自限制性和互补性致使该技术对薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力,所制备的薄膜保形性好、纯度高且均匀,因而引起了人们广泛的关注。

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